半導(dǎo)體廢水處理知識:含硅廢水處理工藝介紹
近年來,隨著全球石油、煤炭等化石能源的日益枯竭,太陽能越來越重要。清潔新能源,全球太陽能產(chǎn)業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展時(shí)期。同時(shí),高純度晶體硅材料也廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。隨著全球太陽能產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備對硅片的需求急劇增加。在硅片加工過程中,高達(dá)50%~52%的晶體硅以硅粉的形式丟失。含硅廢水中的硅粉非常薄,粒徑在0.1~1mm范圍內(nèi)。大多數(shù)小顆粒懸浮在水中,難以沉積。即使靜置半年以上,含硅廢水仍處于混濁狀態(tài)。
由于含硅廢水中硅粉顆粒較小純水設(shè)備,一般過濾處理后的水濁度仍較高,難以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn),過濾效率低,更換濾布周期短,成本高。
目前,硅片加工企業(yè)的硅廢水處理方法主要是按照含有一般懸浮物的廢水處理方法進(jìn)行處理,即添加絮凝劑(如聚合氯化鋁、聚合氯化鐵、聚丙烯酰胺等)。是含硅廢水的絮凝沉淀,然后壓濾固液分離。該硅廢水處理方法效率低、成本高、處理效果差。
鑒于現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)和不足,有一種含硅廢水的除硅處理工藝。含硅廢水的處理工藝操作簡單。在處理過程中不需要添加化學(xué)物質(zhì),以避免二次污染環(huán)境。除硅處理率高達(dá)99%,可適用于大規(guī)模處理。含硅廢水經(jīng)以下方法處理后,出水可穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。
(1)將硅原水收集到原水收集池中,用提升泵將硅原水泵電解到電解槽中,然后將電解水放入沉淀池中,自然靜態(tài)分層。
(2)排出電解自然分層處理后的下沉淀物,回收或排出分層處理后的上清液;在電解處理過程中,在電能的作用下,陽極緩慢溶解,產(chǎn)生Al、Mg等離子體,聚合產(chǎn)生多種羥基絡(luò)合物、多核羥基絡(luò)合物和氫氧化物,顆粒水解聚合產(chǎn)物帶正電荷,比游離水合鋁離子更能吸附污染物雜質(zhì)負(fù)電荷表面,使廢水中的膠體雜質(zhì)、懸浮雜質(zhì)凝聚沉淀,通過網(wǎng)絡(luò)捕獲去除硅,帶電污染物顆粒在電場游泳,部分電荷被電極中和,促進(jìn)其穩(wěn)定沉降,然后去除水中的硅,通過電中和去除硅。純水設(shè)備在電解過程中,乳白色絮體隨著電解時(shí)間的延長而增加,pH值增加,沉淀速度加快,從而實(shí)現(xiàn)廢水中硅的有效去除。純水設(shè)備,合肥純水設(shè)備
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